Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Булыгина Е. В.
Повышение выхода годных СБИС путём удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : 05.27.07 : автореф. дис... ктн / Булыгина Е. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1997. - 16 с.
