Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Духопельников Д. В.
Магнетронные распылительные системы с электромагнитами : автореф. дис... ктн : 01.04.14 / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2007. - 16 с.
