Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Аникин А. В.
Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : 05. 11. 14 : автореф. дис... ктн / Аникин А. В. ; Моск. гос. открытый ун-т. - М., 2006. - 16 с.