Подробное описание документа

Аникин А. В.
   Технологическое обеспечение показателей качества пластин - подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : 05.11.14 : автореф. дис... ктн / Аникин А. В. ; Московский государственный открытый университет. - М., 2006. - 16 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/171692

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…