Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Лазарев Г. Л.
Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : 05.11.07 : автореф. дис... ктн / Лазарев Г. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2006. - 16 с.
