Подробное описание документа

Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф.
   Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе / Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф. - Москва : Физматлит, 2006. - 192 с. : ил. - Библиогр.: с.178-192. - ISBN 5-9221-0695-3.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/189964

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных авто электронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов,специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.