Личный кабинет
Подробное описание документа
Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем : учеб. пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000.
Ч. 1 : Технология изготовления подложек интегральных микросхем / Шульга В. Г., Данилов И. И. - 2000. - 34 с. : ил. - Библиогр.:
Представлена общая характеристика технологического процесса изготовления полупроводниковых подложек для производства интегральных микросхем. Изложены основные закономерности и особенности выполнения каждой операции технологического процесса. Для студентов 3-го и 4-го курсов приборостроительных специальностей.
