Подробное описание документа

Барыбин А. А.
   Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : учебное пособие для вузов / Барыбин А. А. - М. : Физматлит, 2008. - 423 с. : ил. - Библиогр.: с. 415-416. - ISBN 978-5-9221-0679-5.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/194850

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

В книге изложены основные физические явления и закономерности,лежащие в основе технологических методов и процессов,используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физикотехнологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей,как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
Книга предназначена главным образом для студентов как учебное пособие по физико-технологическим основам электроники и микроэлектроники,но может оказаться полезной и специалистам в этой области.
Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений,обучающихся по направлениям 550700 и 654100 "Электроника и микроэлектроника" подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов.