Подробное описание документа

Колесник Л. Л.
   Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Колесник Л. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 16 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/208760

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…