Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Калужский филиал

Подробное описание документа

   Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учеб. пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 42 с. : ил. - Библиогр.: с.41.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Настоящее издание соответствует учебной программе курса "Специальные технологические методы в нанотехнологии". Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.