Подробное описание документа

   Технология микросистемной техники : учеб. пособие : в 3 ч. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010.
   Ч. 1 : Методы микрообработки. - 2010. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с.36.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/1694/

Рассмотрены современные методы микрообработки,применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.