Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Калужский филиал
Личный кабинет
Расширенный поиск по каталогам
Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

Фотография обложки
   Автореферат диссертации

Родионов И. А.
   Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис... ктн : 05.11.14 / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2010. - 16 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/220870
НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана
© НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026
Политика обработки и защиты персональных данных

Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана, Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания. Подробнее о технических файлах (cookie).