Личный кабинет
Подробное описание документа
Одиноков С. Б.
Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № 2. -
Экспериментально решена проблема создания на поверхности деталей из оптического стекла, являющегося диэлектрическим материалом, бинарного функционального микрорельефа методом плазмохимического травления на серийной установке Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности травления стекла от основных факторов процесса. Установлен режим, обеспечивающий полирующее травление оптического стекла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовления соответствующих оптических деталей.
