Личный кабинет
Подробное описание документа
Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок в процессе их роста / Белов М. Л., Белов А. М., Городничев В. А., Козинцев В. И., Федотов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2011. - № 2. -
Описан метод лазерной рефлектометрии, позволяющий проводить in-situ измерения толщины и показателей преломления и поглощения тонких пленок в процессе их роста. Метод основан на измерении коэффициентов отражения системы воздух (вакуум)–пленка-подложка. Для численного решения использован генетический алгоритм поиска минимума функции нескольких переменных. Приведены результаты математического моделирования, показывающие работоспособность метода.
