Подробное описание документа

Панфилов Ю. В.
   Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.: с. 125. - ISBN 978-5-7038-3501-2.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/243049

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ, указания по выполнению домашнего задания, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы Для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Наноинженерия", а также всех, занимающихся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.