Подробное описание документа

Барыбин А. А., Томилин В. И., Шаповалов В. И.
   Физико-технологические основы макро- , микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Барыбин А. А., Томилин В. И., Шаповалов В. И. ; общ. ред. Барыбин А. А. - М. : Физматлит, 2011. - 782 с. : ил. - Библиогр.: с. 771-772. - ISBN 978-5-9221-1321-2.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/246876

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

Книга посвящена основным физическим явлениям и закономерностям, лежащим в основе технологических методов и процессов современной электроники. Особое внимание уделено наноматериалам и перспективным направлениям нанотехнологии. Изложение построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления, как правило, без обращения к другой литературе. Для изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
Книга предназначена главным образом студентам как учебное пособие по физико-технологическим основам современной электроники в ее широком понимании, включающем макро-. микро- и нанотематику, но может оказаться полезной и специалистам в этих областях.
Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники. биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных cpeдств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника".