Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Скрябин А. С.
Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : автореф. дис... ктн : 01.04.14 / Скрябин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2012. - 16 с.
