Личный кабинет
Подробное описание документа
Геллер В. М.
Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : [монография] / Геллер В. М., Хрусталев В. А. - [2-е изд., перераб. и доп.]. - Новосибирск : Изд-во Новосиб. гос. техн. ун-та, 2011. - 297 с. : ил. - (Монографии НГТУ). - Библиогр.:
Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении.
Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов.
Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны.
Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона.
Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
