Личный кабинет
Подробное описание документа
Элионная технология в микро-и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Кузнецов Г. Д., Кушхов А. Р., Сергиенко А. А., Харламов Н. А. ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - М. : Издательский дом МИСиС, 2012. - 127 с. : ил. - Библиогр.:
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемиая техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы».
