Личный кабинет
Подробное описание документа
Рабинович О. И.
Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А. ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - Москва : Издательский дом МИСиС, 2012. - 80 с. : ил. - Библиогр.
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
