Личный кабинет
Подробное описание документа
Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем : учеб. пособие по курсу "Технология приборостроения" / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2003.
Ч. III : Полирование подложек интегральных микросхем / Данилов И. И., Назаров Н. Г., Шалаев В. А. - 2003. - 17 с. : ил. - Библиогр.
В частях I и II учебного пособия по выполнению курсового проекта «Технология изготовления подложек интегральных микросхем» и «Определение технологических параметров механической обработки подложек интегральных микросхем» представлена общая технология изготовления, использующая формообразующие операции шлифования и отделочные операции полирования подложек. Часть III учебного пособия содержит методические материалы для определения технологических параметров двустороннего полирования подложек, способного заменить формообразующее шлифование и отделочное полирование одновременно. Для студентов 3-го и 4-го курсов приборостроительных специальностей.
