Подробное описание документа

Духопельников Д. В.
   Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие по курсу "Технологические ионно-плазменные установки" : в 2 ч. / Духопельников Д. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014.
   Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение. - 2014. - 53 с. : ил. - Библиогр.: с. 52-53. - ISBN 978-5-7038-3798-6.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/152/

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.