Подробное описание документа

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 329 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-4242-3.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7508/

В сборник вошли статьи ведущих российских и зарубежных ученых, молодых специалистов, аспирантов и студентов в таких областях, как материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники, технология и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме, инженерные нанотехнологии в машиностроении и приборостроении.
Конференции посвящены 185-летию Московского государственного технического университета имени Н.Э. Баумана.