Подробное описание документа

   Проведение научных экспериментов в наноинженерии : учеб. пособие для вузов / Адамова А. А., Башков В. М., Власов А. И. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 130 с. : ил. - Библиогр.: с.120. - ISBN 978-5-7038-4141-9.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/3080/

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).