Подробное описание документа

Глушко А. А.
   Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus : метод. указания к выполнению лаб. работ по дисциплине "Автоматизация проектирования электронных средств" / Глушко А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 61 с. : ил. - Библиогр.: с. 58. - ISBN 978-5-7038-4177-8.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/3380/

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux.
Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».