Личный кабинет
Подробное описание документа
Макеев М. О.
Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. - DOI 10.18698/0236-3933-2015-6-125-134 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2015. - № 6. -
Проведены исследование характеристик и оценка однородности нанесения резиста Ultra-i 123-0.35 методом ИК-спектральной эллипсометрии. Определены оптические константы резиста Ultra-i 123-0.35 в ИК-диапазоне длин волн от 2 до 33 мкм, а также зависимость толщины слоев резиста от скорости вращения центрифуги (от 2000 до 7000 об/мин). Неоднородность толщины резиста по поверхности всех образцов составила менее 2%, что свидетельствует о высоком качестве процесса нанесения. Полученная зависимость толщины резиста от скорости вращения центрифуги будет использоваться при выборе технологических режимов нанесения пленок резиста Ultra-i 123-0.35 в диапазоне толщин от 250 до 480 нм.
