Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Калужский филиал

Подробное описание документа

   Автореферат диссертации

Сидорова С. В.
   Расчёт технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких плёнок в вакууме : автореф. дис... ктн : 05.27.06 / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2016. - 16 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/458633