Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Сидорова С. В.
Расчёт технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких плёнок в вакууме : автореф. дис... ктн : 05.27.06 / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2016. - 16 с.
