Личный кабинет
Подробное описание документа
Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Карасик В. Е., Перчик А. В., Арефьев А. П. - DOI 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 3. -
Рассмотрен спектральный метод измерения распределения толщин слоев многослойных пленочных структур, предложены методы калибровки измерительной установки и фильтрации полученных решений. Указанные методы проверены экспериментально с помощью собранного гиперспектрального микроскопа на основе двойного акусто-оптического видеомонохроматора. Приведен анализ результатов измерения толщины двухслойной пленочной структуры из диоксида кремния (SiO2) и полиметилметакрилата на кремниевой подложке.
