Подробное описание документа

Дронов Н. Н., Макарчук В. В., Макушина Н. В.
   Технологические процессы микроэлектроники : метод. указания к выполнению лаб. практикума / Дронов Н. Н., Макарчук В. В., Макушина Н. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2016. - 20 с. : ил. - Библиогр. в конце брош. - ISBN 978-5-7038-4358-1.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/4202/

Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.
Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.