Личный кабинет
Подробное описание документа
Журавский А. В.
Математическое моделирование теплообмена при газофазном осаждении / Журавский А. В. - DOI 10.18698/0536-1044-2017-11-10-17 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2017. - № 11. -
Предложена модель теплопроводности, учитывающая физические особенности теплообмена пластины с парами осаждаемого материала. Рассмотрен наиболее общий случай криволинейной пластины. Учтены конвективно-лучистый теплообмен, а также тепло- и массоперенос. Показана возможность модификации математической модели в целях учета диффузионного переноса вещества и линейного изменения кривизны по толщине пластины. Проведено построение численного алгоритма решения задачи. Выполнены расчеты для различных пар материалов пластина–покрытие. Сделаны выводы о зависимости температурного поля в пластине, на которой происходит газофазное осаждение, от ее геометрии, параметров осаждения и свойств материала.
