Подробное описание документа

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05.13.07 : 05.27.07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - Москва, 1995. - 32 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/51860

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…