Личный кабинет
Подробное описание документа
Духопельников Д. В.
Магнетронный разряд с жидкофазным катодом / Духопельников Д. В., Булычев В. С., Воробьев Е. В. - DOI 10.18698/1812-3368-2018-1-95-103 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Естественные науки. - 2018. - № 1. -
Исследовано влияние фазового состояния мишени на коэффициенты катодного распыления при бомбардировке ионами аргона и ионами материала мишени. Исследования проведены на магнетронной распылительной системе с алюминиевыми и медными катодами. Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Показана возможность работы жидкометаллического медного катода в режиме самораспыления. Исследована динамика изменения напряжения магнетронного разряда в режиме стабилизации тока при фазовом переходе материала катода из твердого состояния в жидкое. Оценены значения коэффициентов катодного распыления указанных материалов с поправкой на термическое испарение. Показана тенденция к увеличению коэффициента катодного распыления при переходе из твердого состояния в жидкое
