Подробное описание документа

Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2019. - 17 с. : ил.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/528494

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…