Подробное описание документа
Диссертация
Бабурин А. С.
Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : дис... ктн : 05. 27. 06 / Бабурин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2019. - 128 л. : ил. - Библиогр.:
