Подробное описание документа
Диссертация
Бабурин А. С.
Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : дис... ктн : 05.27.06 / Бабурин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2019. - 128 л. : ил. - Библиогр.:
