Личный кабинет
Подробное описание документа
Анализ разрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок / Шупенев А. Е., Панкова Н. С., Коршунов И. С., Григорьянц А. Г. - DOI 10.18698/0536-1044-2019-3-31-39 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2019. - № 3. -
Технологии получения тонких пленок, нашедшие широкое применение в науке и технике, являются критически важными в оптической и электронной отраслях промышленности. Особые свойства тонких пленок в первую очередь обусловлены их толщиной, находящейся в диапазоне 1 нм…1 мкм. Измерение такой толщины — ответственная задача, всегда сопутствующая этапу отработки тонкопленочной технологии. При использовании образцов-свидетелей или дополнительных контрольных групп образцов применимы разрушающие методы измерения толщины осажденных слоев. Проведен анализ самых распространенных методов разрушающего контроля и измерения толщины тонких пленок, результаты которого могут послужить основой для выбора наиболее подходящего метода при планировании соответствующих исследований. Рассмотрены отличительные особенности методов косого и сферического шлифов, стилусной профилометрии и атомно-силовой микроскопии для измерения толщины тонких пленок.
