Подробное описание документа

Родионов Ю. А.
   Технологические процессы в микро-и наноэлектронике : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.350. - ISBN 978-5-9729-0337-5.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/546873

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.