Подробное описание документа

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкоплёночных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 38. - ISBN 978-5-7038-5369-6.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/6888/

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкоплёночных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкоплёночного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».