Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Царегородцев А. В.
Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления : 05.13.01 : автореф. дис... ктн / Царегородцев А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 1999. - 16 с.
