Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Васильев Д. Д.
Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с.
