Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Андроник М. М.
Метод синтеза базовых технологических процессов микроэлектромеханических систем на основе конструктивно-технологической онтологии : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Андроник М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с. : ил.
