Подробное описание документа

Андроник М. М.
   Метод синтеза базовых технологических процессов микроэлектромеханических систем на основе конструктивно-технологической онтологии : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Андроник М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с. : ил.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/554919

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…