Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Зау Пхо Аунг
Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Зау Пхо Аунг ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2021. - 16 с.
