Подробное описание документа

Зау Пхо Аунг.
   Повышение адгезии металлических покрытий на нитриде алюминия при нанесении магнетронной распылительной системой с горячей мишенью : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Зау Пхо Аунг ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/554932

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…