Подробное описание документа

Михайлов В. П., Базиненков А. М.
   Механизмы прецизионных перемещений : учебное пособие / Михайлов В. П., Базиненков А. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. - 209 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 206-207. - ISBN 978-5-7038-5529-4.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7110/

Приведены методы анализа, выбора и расчёта прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учётом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».