Личный кабинет
Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Ханбеков И. Ф.
Сокращение времени термовакуумной обработки магнетронов миллиметрового диапазона длин волн за счёт ультразвукового активирования диффузионных и десорбционных процессов : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Ханбеков И. Ф. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с.
