Подробное описание документа

Королева А. Н.
   Разработка научно-методических основ управления качеством базовых технологий, используемых при проектировании и производстве сверхбольших интегральных схем : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Королева А. Н. ; Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ"). - М., 2021. - 123 л. : табл. - Библиогр.: л. 107-116.

library.bmstu.ru/Catalog/Details/557838

https://library.bmstu.ru/Catalog/Details…