Подробное описание документа
Диссертация
Пищимова А. А.
Исследование и разработка нанотехнологических методов создания джозефсоновских переходов для многокубитных схем : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Пищимова А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2022. - 168 л. : ил. - Библиогр.:
