Подробное описание документа

Деулин Е. А., Михайлов В. П., Базиненков А. М.
   Расчёт вакуумных систем технологического оборудования : учебно-методическое пособие / Деулин Е. А., Михайлов В. П., Базиненков А. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 100 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 74. - ISBN 978-5-7038-5813-4.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7385/

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчёта длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчёта сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки.
Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».