Личный кабинет
Подробное описание документа
Бодров Е. Э.
Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Бодров Е. Э. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 201 с. : рис. - Библиогр.:
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
