Подробное описание документа
Методические указания к лабораторным работам по курсу "Физические основы микроэлектроники" / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Абрамов В. П. - Москва : Изд-во МВТУ, 1982.
Ч. II. - 1982. - 36 с. - Библиогр.
