Подробное описание документа

   Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса : учебное пособие / Бычков С. П., Ли И. П., Петров В. С. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Ли И. П., Панфилов Ю. В. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 119 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.114-117. - ISBN 978-5-7038-5823-3.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7551/

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника» в рамках дисциплины «Термовакуумные процессы и оборудование». Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.