Личный кабинет
Подробное описание документа
Нгуен С. Ч.
Интерференционный метод контроля формы выпуклых асферических поверхностей с помощью концентрической менисковой линзы / Нгуен С. Ч., Дружин В. В. - DOI 10.18698/0236-3933-2023-2-4-19 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2023. - № 2. -
Выпуклые асферические поверхности находят все большее применение в качестве элементов высокоточных оптических приборов различного назначения. Сложность изготовления таких поверхностей связана с тем, что существующие методы контроля их формы с оптической точностью 20...30 нм требуют использования вспомогательных эталонных оптических элементов, размеры которых в несколько раз больше размеров контролируемой детали. Предложен автоколлимационный метод контроля с использованием концентрической менисковой линзы, размеры которой незначительно превышают размеры контролируемой детали. Приведены результаты расчета конструктивных параметров схемы контроля на основе теории аберраций третьего порядка. Рассмотрено влияние показателя преломления и толщины концентрической менисковой линзы на максимальное и среднеквадратическое отклонение формы поверхности при разных требованиях к радиусам концентрической менисковой линзы. Предложено моделирование разработанной схемы в программе Zemax. Описана оптическая система интерферометра Физо с применением в его схеме объектива с эталонной поверхностью для реализации разработанного метода. Прикладные исследования проведены для контроля вторичных зеркал телескопа Ричи — Кретьена в обсерватории Хоа Лак (Вьетнам) и спутникового телескопа SNAP Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Нгуен С.Ч., Дружин В.В. Интерференционный метод контроля формы выпуклых асферических поверхностей с помощью концентрической менисковой линзы. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2023, № 2 (143), с. 4–19. DOI: https://doi.org/10.18698/0236-3933-2023-2-4-19
