Подробное описание документа
Диссертация
Малеванная Е. И.
Исследование и разработка систем экранирования в технологическом оборудовании для измерения параметров сверхпроводниковых структур : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Малеванная Е. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2023. - 181 л. : ил. - Библиогр.:
